它们对机械手表的新型机心设计、新材料、新功能的引入产生了很大的促进作用，目前已是高端手表零部件加工制作的优先研究发展方向。本文将分别介绍这两种技术及其在机械手表制造中的应用，并且指出其当前的存在的问题和今后发展方向。
基于SU8胶的紫外LIGA技术
基于SU8胶的紫外准LIGA技术是改进了的LIGA技术（后称UV-LIGA技术），它采用SU8负胶（如Microchem公司的2100、2075系列）进行传统的深度紫外线曝光，实现大高宽比微结构的制作，加工厚度可超过1000微米。这一技术大大的降低了工艺设备的成本，是一种很有发展前途的MEMS制作技术,因而越来越引起人们的重视。
深反应离子刻蚀技术（DRIE）
感应祸合等离子体（ICP）进行深度反应刻蚀（DeepReactiveIonEtching，缩写DRIE）是一种新的干法刻蚀技术，能够将光刻胶图形高精度的转移到硅衬底上，具有刻蚀速率高和各向异性刻蚀等优点，是近年来MEMS制作技术又一重要技术。
将MEMS加工技术应用于机械手表尤其是机心零部件的制作是近年来钟表业革新的最大动力，已引起了世界各大厂商极大的关注。其中两种新兴技术，UV-LIGA技术和DRIE技术得到了广泛的应用，它们对机械手表的新设计、新材料、新功能的引入起了很大的促进作用，现已成为高端手表零部件加工制作的优先研究发展方向。当然作为新兴技术引入到传统的机械手表行业，还面临着很多技术上的困难和问题，例如材料的韧性、可靠性，部件的配合组装的精度等还要逐步得到解决和完善。
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